bse
-
전자현미경 (FE-SEM, TEM, X-ray, EDS...)기타 2020. 11. 4. 11:05
1. 전계방출 주사전자현미경(FE-SEM; Field Emission Scanning Electron Microscope) : 전계방출(Field Emission)이란 높은 진공 중에서 금속 표면에 고압의 전위차를 걸어주어 금속 표면으로부터 전자를 뽑아내는 방법을 말한다. 2. FE-SEM 장비 성능 - 분해능: 1.0nm(15kV) 1.5nm(1kV) - 배율: × 25 ~ ×1,000,000 - 가속전압: 0.1 ~ 30kV - Maximum Probe current: 200nA - 전자총: Schottky Field-Emission Gun - EDS 분해능: 127eV 3. FE-SEM 구동 원리 ①전자 방출 : 전자총에 전압을 인가한 후 전자를 방출함 ②전자 가속 : 양극에 인가된 전기장에 의해 ..